MHS400V-4P探針冷熱臺

產(chǎn)品簡介
MHS400V-4P探針冷熱臺是一款專門針對半導(dǎo)體芯片研發(fā)、測試而設(shè)計的產(chǎn)品。這款探針冷熱臺擁有高精度的探針位移平臺，具有良好的真空性能和精準(zhǔn)的溫控系統(tǒng)。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2026-04-01

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

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型號		MHS300V-4P	MHS400V-4P	MHS600G-4P
溫控模塊	加熱/制冷方式	電阻加熱，液氮制冷
	溫控范圍	-190~300°C*	-190~400°C*	-190~600°C*
	溫度穩(wěn)定性	±0.1°C
	溫度分辨率	±0.1°C
	最大升溫速率	0~100°C/min (可定點/程序段控溫)
	溫控方式	PID
	溫度傳感器	PT100
光學(xué)特性	光路	反射/透射光路（可選）
	視窗材質(zhì)	石英玻璃*
	視窗尺寸	φ40mm*
	視窗厚度	0.5mm*
	物鏡工作距離	15mm*
	透光孔	φ2mm*
電學(xué)特性	探針	移動探針模組x4 *,手動調(diào)整XYZ
	探針行程	13mm
	探針位移精度	1μm
	探針接口	SMA 接口x4*
	探針直徑	10 / 50 / 100 μm*
結(jié)構(gòu)特性	樣品臺尺寸	φ30mm*
	樣品臺材質(zhì)	純銀*
	外形尺寸	180x112x26*
	樣品腔高度	3mm*
	腔室	氣密
	外殼冷卻	循環(huán)水
基本配置	冷熱臺x1、溫控系統(tǒng)x1、低溫系統(tǒng)x1、液氮罐2Lx1、溫控軟件
選配	電腦主機/平板電腦/觸控屏/安裝支架/真空系統(tǒng)/其他定制
備注	以上為默認(rèn)參數(shù) * 為可定制項
其他可選型號	按需求進行配置